退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

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　　真空退火炉具有良好的密封性能，适用于高浓度气氛保护实验和真空高温实验。炉口设计有水冷装置，配有带阀门的双头进风口、防护罩、气体流量计、硅胶管、带阀门的单头出风口、防护罩和真空压力表。使用时，应将用户自己的低温罐中的冷液连接至冷却装置（当使用温度不高时，也可采用水冷方式）。在大气保护实验过程中，可直接引入氮气、氢气等下落气体，以防止高温加热工件的氧化和脱碳。
     用于高温烧结、淬火等热处理工艺中的气体保护。如果需要高纯度工艺，应配备真空泵，先抽取炉内空气，然后填充惰性气体，也可根据需要增加一定压力，以确保惰性气体的高纯度；进行真空高温试验时，必须在加热前抽真空。