退火炉是一种新型换热设备，在半导体器件制造中有广泛应用。

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退火炉是一种节能型周期式作业炉，具有超节能结构，采用纤维结构，节电60%。
退火炉的骨架由各种型钢焊接而成，外框用槽钢作主梁，围板采用冷薄板，传动部分采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动，而炉门传动则采用蜗轮减速机和电动机组合电动升降。
退火炉的密封性能良好，台车与炉体密封采用迷宫式结构，并在台车侧有自动沙封刀密封装置，炉门密封则采用滚道式压紧和弹簧压紧自动机构密封。
炉体部分采用优质耐火砖结构，保证炉膛密封性，而在台车耐压部分则采用高铝砖砌筑，下部均添保温砖保温。
退火炉的燃烧系统设计好，在油炉两侧各安装数只烧咀，热流在炉内往复循环，确保炉温均匀性。
退火炉可根据需要选定为自动型和半自动型，并广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。