目前退火炉加热大都为管式炉或马弗炉，原理为加热丝或硅碳棒对炉体加热，加热与降温速度慢，效率低下，也无法实现温度的高精度测量，加热区域也存在不均匀的现象，可实现宽域均热区，高速加热、高速冷却，用石英管保护加热式样，无气氛污染，可在高真空，高出纯度气体中加热，设备可组成均热高速加热炉，温度斜率炉，阶段加热炉，是一种目理想的退火炉。

​

高速加热与冷却方式；高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温，同时炉体可配置水冷系统，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。
温度高精度控制；过红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用，可以控制样品的温度（远比普通加温方式）。此外，冷却速度和保持在任何温度下可提供高精度。
不同环境下的加热与冷却；加热/冷却可用真空、气氛环境、低温（高纯度惰性气体静态或流动）操作简单，使用石英玻璃制成，红外线可传送到加热/冷却室。